该厂为8屏幕尺寸晶圆制作线配备的超注射用水系统化,每周引发含硅废气150吨。废气中虽无天价属,但硅浓度高易水垢,且热敏电阻率需完成18MΩ·cm方可使用。固有加工处工院艺没办法充分满足新修订的《电子器材工业化的水污染源物废气基准》(GB39731-2020)特点废气规定值。
生活污水因素优点
主要废弃物物
:胶体溶液硅(200-300mg/L)、颗料硅(粒级0.1-1μm)
特种追求
:TOC<10μg/L,硼纯度<5μg/L
水环境特点
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅无机化合物结构有难度
解决标准流程标准流程
去创新选取"梯级膜分离出来+电去亚铁离子"组合成制作工艺:
微滤预净化处理
:1μm工业陶瓷膜短信拦截大科粒硅,通量保持80LMH
阴离子调换不饱和树脂
:D201大孔不饱和树脂选定性吸附剂硅酸碳原子
二次元RO操作系统
:弟一段收购率60%,第三段主要包括高脱硼膜元器件封装
EDI电去正离子
:电流值孔隙率2A/m²,持续时间消除残渣阴离子
紫外光消毒杀菌
:254nmUV紫外线的线标准容量40mJ/cm²
新技术闪光点
研发特用阻硅剂(巧妙胺类混合物),廷缓膜生态破坏时间间隔3倍
EDI功能模块的创新流道装修设计,硅的还原率改善至99.8%
百度在线硅了解仪(检测的领域0.1-500μg/L)确保会员精准营销掌控
行驶预期效果
经3、方探测:
总硅从280mg/L调至0.05mg/L
硼的含量从8μg/L降下来0.3μg/L
程序出售率从原40%上升至68%
膜调整周期性延长了至5年,年开机运行成本费用降低35%