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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8屏幕尺寸晶圆制作线配备的超注射用水系统化,每周引发含硅废气150吨。废气中虽无天价属,但硅浓度高易水垢,且热敏电阻率需完成18MΩ·cm方可使用。固有加工处工院艺没办法充分满足新修订的《电子器材工业化的水污染源物废气基准》(GB39731-2020)特点废气规定值。 生活污水因素优点 主要废弃物物 :胶体溶液硅(200-300mg/L)、颗料硅(粒级0.1-1μm) 特种追求 :TOC<10μg/L,硼纯度<5μg/L 水环境特点 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅无机化合物结构有难度 解决标准流程标准流程 去创新选取"梯级膜分离出来+电去亚铁离子"组合成制作工艺: 微滤预净化处理 :1μm工业陶瓷膜短信拦截大科粒硅,通量保持80LMH 阴离子调换不饱和树脂 :D201大孔不饱和树脂选定性吸附剂硅酸碳原子 二次元RO操作系统 :弟一段收购率60%,第三段主要包括高脱硼膜元器件封装 EDI电去正离子 :电流值孔隙率2A/m²,持续时间消除残渣阴离子 紫外光消毒杀菌 :254nmUV紫外线的线标准容量40mJ/cm² 新技术闪光点 研发特用阻硅剂(巧妙胺类混合物),廷缓膜生态破坏时间间隔3倍 EDI功能模块的创新流道装修设计,硅的还原率改善至99.8% 百度在线硅了解仪(检测的领域0.1-500μg/L)确保会员精准营销掌控 行驶预期效果 经3、方探测: 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼的含量从8μg/L降下来0.3μg/L 程序出售率从原40%上升至68% 膜调整周期性延长了至5年,年开机运行成本费用降低35%

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