该晶圆制作厂建在华北位置,具体生產8屏幕尺寸光电器件晶圆,单日废水处理排缩量上涨量约800吨。因生產过程中 中利用不少氢氧化钠使用晶圆蚀刻,促使废水处理中氟化物密度到达200-300mg/L,远超地方排缩量上涨标准(10mg/L下列)。
工业废水化学物质及源头
废污水主要是来自于四个节点:
晶圆蚀刻流程
:含高酸度氟化物(HF)、硝酸铵及几瓶高价属
催化物理拋光(CMP)废液
:含奈米级硅颗料、生物碳络合剂
设施洁净废污水
:含异丙醇、氟化物等设计物
正确处理生产工艺程序
进行"普通机械水解+水泥混凝土水解+厚度过滤器"三级职业资格证书治疗体统:
一級补救
:加药系统氯化钙和氢氧化的钙,行成氟化钙水解,氟化物取除率达85%
二次元处里
:加PAC(配位聚氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),清掉溶液态污染问题物
三级分销治疗
:根据多媒质管道过滤器器和活性氧炭吸附物,喷水氟化物氨水浓度动态平衡在8mg/L下面
重要的仪器例如:pH电脑自动控制系统的、斜管沉定池、板框厢式压滤机(工业废水脱水烘干)。
最终能够特效
建设项目程序运行三年期探测数据凸显凸显:
氟化物峰值渗透压:7.2mg/L(最低国内规则)
COD剔除率:92%
废水含水分率:≤65%
年环保再生成本回收氟化钙副厂品约150吨,变现成本化利用