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电子半导体废水怎么处理|电子半导体废水如何处理

该晶圆制作厂建在华北位置,具体生產8屏幕尺寸光电器件晶圆,单日废水处理排缩量上涨量约800吨。因生產过程中 中利用不少氢氧化钠使用晶圆蚀刻,促使废水处理中氟化物密度到达200-300mg/L,远超地方排缩量上涨标准(10mg/L下列)。 工业废水化学物质及源头 废污水主要是来自于四个节点: 晶圆蚀刻流程 :含高酸度氟化物(HF)、硝酸铵及几瓶高价属 催化物理拋光(CMP)废液 :含奈米级硅颗料、生物碳络合剂 设施洁净废污水 :含异丙醇、氟化物等设计物 正确处理生产工艺程序 进行"普通机械水解+水泥混凝土水解+厚度过滤器"三级职业资格证书治疗体统: 一級补救 :加药系统氯化钙和氢氧化的钙,行成氟化钙水解,氟化物取除率达85% 二次元处里 :加PAC(配位聚氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),清掉溶液态污染问题物 三级分销治疗 :根据多媒质管道过滤器器和活性氧炭吸附物,喷水氟化物氨水浓度动态平衡在8mg/L下面 重要的仪器例如:pH电脑自动控制系统的、斜管沉定池、板框厢式压滤机(工业废水脱水烘干)。 最终能够特效 建设项目程序运行三年期探测数据凸显凸显: 氟化物峰值渗透压:7.2mg/L(最低国内规则) COD剔除率:92% 废水含水分率:≤65% 年环保再生成本回收氟化钙副厂品约150吨,变现成本化利用

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